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原裝 現(xiàn)貨ULVAC 愛發(fā)科 渦輪分子泵采用陶瓷軸承的復(fù)合翼型渦輪分子泵。通過泵的本體和控制器一體化,實現(xiàn)了省空間。出色的高背壓特性使輔助泵的小型化成為可能。特點安裝方向自由安裝方向沒有限制,擴展了設(shè)備設(shè)計的自由度。搭載控制器控制器安裝在主體上,有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸。
聯(lián)系電話:13717025688
品牌 | ULVAC/日本愛發(fā)科 | 價格區(qū)間 | 2萬-3萬 |
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儀器種類 | 真空泵 | 產(chǎn)品類型 | 無油泵 |
產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè),建材,綜合 |
供貨號 | 137.1702.5688 |
原裝 現(xiàn)貨ULVAC 愛發(fā)科 渦輪分子泵
原裝 現(xiàn)貨ULVAC 愛發(fā)科 渦輪分子泵
安裝方向自由
安裝方向沒有限制,擴展了設(shè)備設(shè)計的自由度。
搭載控制器
控制器安裝在主體上,有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸。
高壓縮比?高排氣圧力
高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實現(xiàn)小型化。
三種法蘭可供選擇
VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。
清潔真空
在運行時以及泵停止時,碳氫化合物的回流很少。
分析設(shè)備、研究開發(fā)設(shè)備、實驗設(shè)備等的主排氣系統(tǒng)
蒸發(fā)設(shè)備、濺射設(shè)備等著排氣系統(tǒng)
H2、He等輕氣體主排氣系統(tǒng)
型號 | UTM70B | UTM300B | |||||
泵體 | 冷卻方式 | 自然空冷 | 強制空冷 | 自然空冷 | 強制空冷 | ||
法蘭口徑 | 吸氣口*1 | VG65, ICF114, ISO063-K | VG100, ICF152, ISO100-K | ||||
排氣口 | KF16 | KF16 | |||||
排氣速度 (無防護網(wǎng)時) | N2 | 70 L/s | 280 L/s | ||||
He | 60 L/s | 270 L/s | |||||
H2 | 49 L/s | 220 L/s | |||||
到達壓力 *2 | - *3 | 10-8Pa | - *3 | 10-8Pa | |||
10-6Pa | 10-6Pa | 10-6Pa | |||||
最大壓縮比 | N2 : >1×109, He : 4×107, H2 : 4×105 | N2 : >1×109, He : 7×106, H2 : 1×105 | |||||
最大吸氣口壓力 *4, *5, *6 | N2 | 0.43Pa | 1.1Pa | 0.06Pa | 0.7Pa | ||
最大排氣口壓力 *4, *5, *7 | N2 | 300Pa | 900Pa | 100Pa | 1000Pa | ||
連續(xù)運轉(zhuǎn) 最大流量 *8 | 無排放 氣體 | N2 | 15sccm *9 | 40sccm *9 | 10sccm *10 | 100sccm *10 | |
無排放 氣體 | Ar | - | 10sccm *9 | - | 30sccm *10 | ||
有排放 氣體 | - | 15sccm *9 | - | 40sccm *10 |
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